天眼查显示，深圳市铨兴科技有限公司“一种干式晶圆自动清洁机”专利获授权，授权公告日为8月8日，授权公告号为CN219483621U。
专利摘要显示，本申请属于晶圆清洁机领域，尤其是一种干式晶圆自动清洁机，针对现有的只能对单独一种型号大小的晶圆盒进行定位，在需要对不同型号大小的晶圆使用到相配套的晶圆盒时，导致无法对不同型号的晶圆盒进行定位问题，现提出如下方案，其包括设备主体，设备主体包括有降噪吸音舱、置物舱、电机控制舱、晶圆盒、风刀、离子分散器和吸尘器，所述置物舱设置于降噪吸音舱上，所述电机控制舱设置于置物舱上，风刀和离子分散器均设置于电机控制舱内，吸尘器设置于降噪吸音舱内，所述置物舱和降噪吸音舱上均开设有多个，通过移动机构可以不同大小型号的晶圆盒进行定位，防止晶圆盒在置物舱内滑动，通过锁紧万向轮可以便于设备主体进行移动，移动起来更加省力。（校对/刘沁宇）
