天眼查显示，西安奕斯伟材料科技股份有限公司近日取得一项名为“硅片的检测控制方法、装置、控制设备、程序产品及介质”的专利，授权公告号为CN119694918B，授权公告日为2025年10月17日，申请日为2024年12月12日。
本发明提供了一种硅片的检测控制方法、装置、控制设备、程序产品及介质，属于半导体技术领域。包括：在装有至少一个硅片的载具到达检测设备的上料口的情况下，根据所述检测设备的异常下料口对应的硅片信息，判断所述至少一个硅片是否满足检测条件；在确定所述至少一个硅片满足检测条件的情况下，对所述至少一个硅片进行检测，获得检测结果；根据所述检测结果，对所述至少一个硅片进行处理。本发明的技术方案能够对异常硅片进行及时地自动处理，避免了异常硅片需要人工进一步分类而导致的检测效率低的问题。
