天眼查显示，西安奕斯伟材料科技股份有限公司近日取得一项名为“一种晶圆中金属离子分布识别方法、装置、电子设备和可读存储介质”的专利，授权公告号为CN114332031B，授权公告日为2025年3月21日，申请日为2021年12月30日。
本发明提供一种晶圆中金属离子分布识别方法、装置、电子设备和可读存储介。晶圆中金属离子分布识别方法包括以下步骤：获取晶圆的灰度图像；根据所述灰度图像提取所述晶圆的N条灰度曲线，其中，所述晶圆由N个子区域构成，N为大于1的整数，所述子区域的形状为与所述晶圆的半径相同的扇形，且所述子区域的圆心和所述晶圆的圆心重合，每一所述灰度曲线对应一个所述子区域，且所述灰度曲线反应所述子区域沿半径方向的灰度变化；叠加所述灰度曲线获得所述晶圆的累加灰度曲线；检测所述累加灰度曲线的波峰，其中，所述累加灰度曲线的波峰对应所述晶圆中的金属离子分布环。本发明实施例能够提高金属离子分布情况的评估的准确性和一致性。
