拉普拉斯“片材载具上下料装置和方法、反应炉系统”专利公布

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天眼查显示,拉普拉斯新能源科技股份有限公司“片材载具上下料装置和方法、反应炉系统”专利公布,申请公布日为2024年10月11日,申请公布号为CN118763034A。

本公开涉及半导体或光伏技术领域,具体涉及一种片材载具上下料装置和方法、反应炉系统,解决了由于悬臂桨结构的桨变形,导致片材载具进出反应炉时相对于反应炉的位置的调节难度大的问题。片材载具上下料装置包括:承载板、炉外轨道和推舟组件,承载板水平放置于地面或者机架,炉外轨道和推舟组件均设置于承载板上,炉外轨道用于承载片材载具,能够与反应炉的炉内轨道对接。在炉外轨道与炉内轨道对接时,推舟组件对片材载具施加推力或拉力,以使片材载具被推入或拉出反应炉。该片材载具上下料装置取代了悬臂桨结构承载片材载具,不存在变形的问题,降低了片材载具进出反应炉时相对于反应炉的位置的调节难度。

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