超纯股份创业板IPO获受理 募资11.25亿元投建半导体核心零部件等项目

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12月30日,深交所正式受理了成都超纯应用材料股份有限公司(简称“超纯股份”)的创业板上市申请。作为一家专注于特殊涂层工艺及其关联技术与材料的国家级专精特新重点“小巨人”企业,超纯股份的IPO进程备受市场关注。公司本次拟募资11.25亿元,用于半导体设备核心光学零部件产业化、半导体材料及表面处理产业化等多个项目,以进一步强化其在半导体核心零部件领域的自主可控能力。

超纯股份主要面向芯片制造与精密光学等领域,提供经特殊涂层工艺处理后的精密零部件。随着半导体先进制程不断迭代至7nm、5nm及以下,芯片对生产环境中颗粒污染与微量元素污染的容忍度呈指数级下降,这使得能够有效控制污染、耐受极端工艺条件的特殊涂层零部件,成为保障先进制程稳定量产的核心关键。

超纯股份指出,目前全球最先进的特殊涂层技术仍由海外厂商掌握,且受限于技术保护与出口管制,并未引入中国大陆。国内普遍采用的阳极氧化等传统表面处理技术,已难以满足先进制程对污染控制的极致要求。超纯股份通过自主研发,在气相沉积、气溶胶等高致密涂层工艺上取得突破,其产品已实现超低颗粒污染控制、耐等离子轰击等关键性能,是国内极少数能够为5nm及以下制程半导体刻蚀设备供应核心特殊涂层零部件的厂商,成功实现了该领域的进口替代。

公司建立了从关键设备自研、材料改性、工艺开发到精密加工、清洗检测的全工艺自主可控体系。产品矩阵涵盖介质窗、喷淋头、静电卡盘等数十种机械类与光学类半导体特殊涂层零部件,覆盖刻蚀、光刻、薄膜沉积等前道核心工艺以及后道封装、硅片外延等领域。同时,公司技术亦应用于高激光阈值的精密光学产品,服务于航空航天等国家重大战略领域。

凭借领先的技术实力,超纯股份深度融入了国内半导体产业链生态。在国产设备商市场,公司与屹唐股份、华卓精科等国产设备龙头建立了深度合作,共同推进关键零部件的验证与导入;在晶圆厂市场,公司产品已通过多家头部晶圆厂认证并实现批量供货,用于替代国外原装零部件。报告期内,公司主营业务收入呈现持续快速增长趋势,2022年至2025年上半年,分别实现营业收入1.36亿元、1.69亿元、2.56亿元及2.06亿元。

未来,超纯股份表示将紧抓半导体产业链自主可控的战略机遇,持续聚焦先进制程核心工艺节点,致力于推动国产半导体设备零部件从国内配套向全球技术竞争的核心力量演进,为集成电路产业的高质量发展提供关键支撑。

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