几个月前,复旦大学教授周鹏、研究员刘春森团队的研究论文在《自然》上线。团队研制的“破晓(PoX)”二维闪存原型器件,颠覆现有闪存技术路径,实现了400皮秒超高速非易失存储,是迄今最快的半导体电荷存储技术。

封装后的二维-硅基混合架构闪存芯片。复旦大学供图
开心的同时,刘春森还牵挂着团队同步开展的另一项工作。他们提出二维-硅基混合架构“长缨(CY-01)”,通过将二维闪存器件直接融入成熟的互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺平台,加快这种新型器件的产业化。
彼时,《自然》编辑部已在回复邮件中给出意见:“您的稿件已被3位审稿人评阅,他们均认为这项工作具有潜在研究价值,我们对此表示赞同。”
10月8日,这项让刘春森牵挂的研究在《自然》以“加速上线”的形式发表。《自然》同行评议称,该研究“有望引起商业公司高度关注”。
“从0到10”,面向未来
存储器是一个非常成熟的产业,人们早已习惯了易失性存储和非易失性存储两套系统共同工作的模式——前者以静态随机存取存储器(SRAM)、动态随机存取存储器(DRAM)为代表,操作速度快,但容量小,数据在断电后无法保存;后者以闪存为代表,容量大,无需电源即可保存数据,但运行速度较慢。
“过去几十年,国际上提出了多种新型存储技术路径,但始终没有颠覆现有存储芯片格局。”刘春森坦言,“以闪存为例,其结构十分简单,且运行稳定性高、价格便宜,很难被取代。”
突破现有存储技术困难重重,但这并未让周鹏和刘春森等科学家退缩。他们始终致力于开发能够满足未来人工智能(AI)应用需求的颠覆性存储技术。
刘春森解释:“AI大模型对数据存储有了读取速度快和高容量兼顾的需求,现有存储器无法满足此需求。可以说,存储器是制约AI发展的主要硬件瓶颈之一。”
过去10年间,团队聚焦二维超快闪存技术,从“0”起步,从底层物理原理出发,一步步向前迈进。2018年,他们报道了首个高速准非易失闪存,2021年进一步发现辅助势垒隧穿增强机理,将读写速度提至20纳秒的同时,确保了数据存储的非易失性。以上进展让他们意识到二维闪存器件有产业化价值,开始同步开展器件集成方面的工作。
“二维超快闪存技术是我们团队自主提出、国际上独一无二的技术路线,读写速度远超现有闪存技术。”刘春森说,“事实上,我们一直在深入研究二维高速存储器件,在研究过程中,逐渐建立起向下游应用推进的信心。”
“从10到0”,借道加速
新型器件要想真正走向系统级应用,往往要经历一场漫长的马拉松。以集成电路发展为例,半导体晶体管诞生于1947年,之后历经美国贝尔实验室和一系列顶尖公司接力研发,才在24年后催生出全球第一个中央处理器(CPU)。
而对于一个专注于器件研发的团队而言,从基础研究到产业应用的“转型”更为不易。“颠覆性创新走向工程化应用,本质上是一条从‘0到10’的征途。而要真正走通这条路,离不开从‘10到0’,即从未来应用的终点出发,倒推技术发展的正确路径。”周鹏表示。
顺着这个思路,团队意识到,二维闪存无需再走长达几十年的研发之路,完全可以“站在巨人的肩膀上”,缩短技术落地进程。
何不借助现有成熟硅基CMOS制造工艺这条“高速公路”,让二维存储器件这一新型“交通工具”行驶得更快呢?由此,团队基于“长缨”架构,攻克了新型二维信息器件工程化的关键难题,制备出全球首个二维-硅基混合架构芯片。测试结果显示,该新型存储芯片集成良率达94.3%,支持8比特指令操作、32比特高速并行操作与随机寻址。
其间,他们主要攻克了两大瓶颈问题。
一方面,传统CMOS制造工艺与厚度达数百微米、具备金刚石结构的硅材料相适配,而二维材料厚度仅为1至3个原子,直接使用此工艺无疑会引入“材料暗伤”。
团队针对性地研发了“原子芯片”系统集成框架。就像拼乐高一样,他们通过模块化集成方案,将二维存储电路与成熟CMOS电路分离制造,最后与CMOS控制电路通过高密度单片互连技术实现完整芯片集成。
“这一集成框架的核心思路,是在时空上分割二维存储电路和CMOS电路的制造。”刘春森解释说,“我们首先采用标准CMOS工艺制造CMOS控制电路,再利用支持原子尺度贴合的片上二维集成工艺进行二维电路的后续工艺集成,由此确保制造流程受到最小化影响。”
另一方面,二维存储器件的工作机制与标准CMOS不兼容。针对此问题,团队提出跨平台系统设计方法论,在二维存储电路和CMOS电路之间专门添加了“转译层”,并结合高密度单片互连技术,实现了二维电路和CMOS电路软、硬件兼容性通信。
“由此,CMOS电路能够理解二维器件的工作模式,二维电路也能够理解从CMOS电路传递过来的控制信号。”刘春森说。
“从10到100”,拥抱产业
这项成果突破,离不开团队与工业界的深度合作。在项目开展之初,团队就决定只做擅长的事,专注于二维存储器件部分,而芯片整体设计、控制和读出电路等则交由合作企业完成。
目前,团队正在着手建设中试线,预计未来3至5年内将芯片容量从Kb扩展到Mb级别。“我们计划进一步与企业合作,利用产业界成熟的工艺和大规模产线,5至10年内将存储容量做到Gb甚至Tb,实现第一批商业化产品落地。”刘春森说。
届时,分级存储架构将被改变,一块存储芯片即可同时实现高读写速率、大容量及数据长期保存,有望将AI服务器部署在个人电脑甚至手机上,进一步推动AI应用和发展。此外,以垂直堆叠为特点的3D NAND闪存芯片制备工艺也有望实现颠覆性突破。
“以长缨为架构、破晓为内核的二维芯片是二维电子器件工程化里程碑,也为新一代颠覆性器件缩短应用化周期提供了范例。”周鹏说。
相关论文信息:
http://doi.org/10.1038/s41586-025-09621-8
《中国科学报》 (2025-10-10 第1版 要闻)