天眼查显示，西安奕斯伟材料科技股份有限公司“一种用于最终抛光的抛光头、抛光设备和成品晶圆”专利公布，申请公布日为2025年2月28日，申请公布号为CN119526270A。
本公开实施例提供了一种用于最终抛光的抛光头、抛光设备和成品晶圆，所述抛光头包括：吸附环，所述吸附环用于吸附在待抛光的晶圆的环形倒角区域上；以及多个连接元件，每个连接元件均是可动的，并且所述多个连接元件与所述吸附环连接以保持被所述吸附环吸附的所述晶圆，其中，所述多个连接元件构造成能够通过各自的移动改变所述晶圆的翘曲度或位置，以使所述晶圆的正面在被抛光后满足目标形貌要求。
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