天眼查显示，北京北方华创微电子装备有限公司“一种晶圆位置检测装置及半导体设备”专利公布，申请公布日为2024年12月13日，申请公布号为CN119132999A。
本申请公开了一种晶圆位置检测装置及半导体设备，晶圆位置检测装置的第一环形滑轨和第二环形滑轨相对的设置于半导体腔室的上下两侧；线性传感器发射端与第一环形滑轨滑动连接，线性传感器接收端与第二环形滑轨滑动连接；且线性传感器发射端在晶圆的正投影以及线性传感器接收端在晶圆的正投影均部分与晶圆重叠；处理器用于控制驱动器驱动线性传感器发射端和线性传感器接收端同步滑动；并控制线性传感器发射端发射检测信号，以及线性传感器接收端接收未被晶圆遮挡的检测信号；根据线性传感器接收端接收到的检测信号，确定晶圆的圆心位置；其中，检测信号能够穿透半导体腔室。本申请解决了现有的工艺腔室密封难和需冷却系统的问题。
