集微网消息,天眼查显示,近日长鑫存储技术有限公司公开多项专利,其中一条名称为“刻蚀机的气体分布板的拆装装置和刻蚀机”,公开号为CN114446749A。
专利摘要显示,本发明提供一种刻蚀机的气体分布板的拆装装置和刻蚀机,涉及半导体制造技术领域,解决刻蚀机的气体分布板的拆装难度大,且易污染气体分布板的问题,该刻蚀机的气体分布板的拆装装置包括握持件、连接件和固定件,固定件可拆卸的连接在刻蚀机的气体分布板上,握持件和固定件通过连接件连接;握持件上设置有供用户手部握持的握持部。本发明能够有效减小气体分布板的拆装难度,提高刻蚀机的维修效率,同时减少拆装过程气体分布板的污染,优化刻蚀机的维修效果,保证刻蚀机的刻蚀效果,延长刻蚀机的使用寿命。
(校对/Yuki)