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集微网消息，天眼查显示，长鑫存储技术有限公司“沉积设备、静电卡盘、加热机构及其控温方法”专利公布，申请公布日为2024年4月5日，申请公布号为CN117821945A。
本公开涉及一种沉积设备、静电卡盘、加热机构及其控温方法，加热机构包括导热板、加热组件以及控制器。加热组件包括至少两个加热元件，其中一个加热元件为主加热元件，其余加热元件为备用加热元件。控制器分别与各个加热组件电性连接，控制器用于控制各个加热组件的主加热元件工作，以及用于在主加热元件出现故障时控制备用加热元件进行工作。当其中某个加热组件的主加热元件出现故障时，该加热组件的一个备用加热元件立即开启工作，由于备用加热元件与主加热元件对应于导热板上的位置基本一致，这样备用加热元件及时开启工作后，能避免加热过程的中断、保证导热板受热均匀，从而保证了加热机构的工作稳定性，控温效果好，以保证产品加工质量。
