得益于人工智能所带动的存储芯片需求爆发，日本陶瓷卫浴产品制造商TOTO成为了这轮AI热潮中的受益者。自去年11月下旬以来，TOTO股价累计涨幅超过35%，其中1月22日单日大涨11%。高盛分析师因此将该公司评级从中性提升至买入，并预测其将实现“显著利润增长”。这一现象主要源于TOTO用于芯片制造的静电卡盘业务需求激增，受益于存储行业供需紧张及AI数据中心建设浪潮。
TOTO的半导体业务可追溯至1980年代，当时公司开始为半导体产业开发高性能精密陶瓷产品，包括静电卡盘。然而，该业务多年无利可图，直到近年半导体市场蓬勃发展，利润在2022财年才开始大幅增长。最新进展显示，TOTO在截至2025年10月31日的2025财年上半年财报中，其“新领域”业务（包括半导体相关陶瓷业务）营收达296亿日元（约合13.24亿元人民币），同比暴涨137%；营业利润达129亿日元（约合5.77亿元人民币），同比暴涨142%。TOTO表示，这得益于半导体市场有利条件及数据中心需求增加，包括设备制造商的新投资和替换需求。公司目标是在2025财年使该业务营业利润达到250亿日元（约1.6亿美元），并已将住宅设备和中国业务的利润重新投资于陶瓷技术，以应对日本住房市场萎缩和中国经济放缓的挑战。
静电卡盘是半导体制造工艺中的核心部件，用于固定晶圆以进行加工、测量等操作。它利用静电吸附原理工作，适用于真空及等离子体环境，在薄膜设备、刻蚀机等高端装备中不可或缺。相较于机械卡盘或真空卡盘，静电卡盘具有精度高、损伤小的特点，尤其在EUV光刻等高真空环境下优势明显。现代半导体流程如离子注入、PVD、CVD等均依赖静电卡盘确保晶圆稳定固定和低污染。材料方面，氧化铝陶瓷因工艺简单应用广泛，但氮化铝陶瓷因导热性能更优正逐渐替代，尽管其烧结工艺需添加助剂如CaO或Y2O3以提高致密性。
全球静电卡盘市场被美日韩企业垄断，主要供应商包括美国应用材料、泛林集团，日本新光电气、TOTO、NTK CERATEC等，以及韩国MiCo等公司。2021年，应用材料、泛林集团和新光电气分别占据43.86%、31.42%和10.20%的市场份额。静电卡盘价值量高，占刻蚀机原材料成本的12.7%，且作为消耗品（使用寿命不超过两年），替换需求贡献可观收入。市场规模方面，QYResearch预测2022-2028年全球销售额将从17.9亿美元增至24.1亿美元，年复合增长率5.1%；2023年保守估计为36-42亿元，其中中国大陆市场7-8亿元。中国本土供应商如瑞耘科技、华卓精科等份额较小，但江丰电子近期与KSTEINC.签署合作框架协议，计划引进技术实现量产。
Toto通过其陶瓷卫浴技术改进静电卡盘性能，例如运用高耐等离子体性Al2O3材料实现高耐用性和低颗粒污染，并能控制晶圆温度。公司曾面临良率挑战，但借鉴马桶表面检测技术识别异物颗粒，提升生产标准。2020年，Toto斥资118亿日元在日本大分兴建陶瓷设施，并增加20%生产员工，正考虑建新厂以巩固市场地位。未来，Toto计划将陶瓷应用扩展至半导体后段制程如3D堆叠技术，以稳定业务增长。
