3月26日至28日，上海国际半导体展览会SEMICON CHINA 2025在上海新国际博览中心隆重举行。作为国内领先的晶圆传输设备供应商，泓浒（苏州）半导体科技有限公司（以下简称“泓浒半导体”）携多款晶圆传输机器人及AMHS设备亮相展会，展现了其在国产半导体装备核心零部件技术的突破性进展。

为期三天的展会上，泓浒半导体展台热度持续火爆，吸引了众多客户，业界专家、合作伙伴、投资人和行业媒体的驻足与关注。工作人员向大家热情介绍公司情况和产品，分享前沿技术、交流宝贵的行业经验，热烈探讨行业发展趋势。

在本次展会上，泓浒半导体重点展示了多款晶圆传输机器人及AMHS设备：

其中，真空洁净机器人-五轴单臂四Blade，可对应非发散型腔体同时高速变距搬运4片晶圆，适用于当前最先进的8~12腔大型真空工艺设备。

真空洁净机器人-四轴双臂四Blade，可同时高速搬运4片晶圆，现已广泛应用于主流真空工艺解决方案。

真空洁净机器人-三轴单臂双Blade，旋转半径小，大量应用于紧凑尺寸设计的高真空工艺解决方案。

大气洁净机器人-四轴双臂双翻转Blade，可对应晶圆翻转及360°全方位搬运，特殊的拐点传输方式可应对更复杂的场景需求。

与此同时，泓浒立足半导体晶圆传输机器人和传送设备，不断打磨机器人硬件及控制技术，与OHT、AMR等AMHS设备完美配套，共建半导体晶圆传输自动化产业链生态。

晶圆传输系统

泓浒半导体成立于2016年，始终扎根于半导体传送设备与关键零部件领域，主营业务涵盖晶圆传输设备及部件、维修翻新、耗材及配件贸易。在竞争激烈的市场环境中，公司凭借持续创新的精神和强大的研发实力，不断取得突破性成果。2019年，公司率先实现Sorter（自动倒片机）和EFEM的量产；2022年突破SMIF（标准机械接口）和VTM技术壁垒；2023年，其自主研发的真空机械手臂完成量产工艺验证；2024年，核心部件量产交付。

目前，泓浒半导体已拥有超200项自主知识产权，其中发明专利（已授权）达90项，发明专利（正在受理和实审）超100项，软件著作权（已授权）达30项，实用新型/外观专利（已授权）达60项。其产品已服务超 100 家客户，涵盖硅片制造、集成电路制造、半导体封测、半导体设备等多个领域，包括中欣晶圆、华润微电子等知名企业。

近年来，国内厂商对半导体供应链安全重视程度不断提高，部分 Fab 厂开始关注设备厂商核心部件的国产化比例，同时国内晶圆厂的扩产也为国产设备零部件厂商带来了广阔市场空间。面对挑战与机遇，泓浒半导体坚持将自主研发与创新作为企业发展的核心驱动力，高度重视技术攻关和人才培养。

泓浒半导体作为国家专精特新 “小巨人” 企业和苏州市 “独角兽” 培育企业，在半导体晶圆传输设备领域深耕不辍，以创新驱动发展，为半导体产业高质量发展注入强劲动力。未来，泓浒半导体将继续秉持初心，在晶圆传输设备和零部件领域不断探索创新，谋求新突破，为推动半导体设备国产化进程贡献更多力量。