天眼查显示，深圳市森美协尔科技有限公司“定位机构、定位方法及晶圆检测装置”专利公布，申请公布日为2024年11月12日，申请公布号为CN119115844A。
本申请涉及一种定位机构、定位方法及晶圆检测装置。定位机构包括：第一安装板、第二安装板以及多组定位组件，第二安装板设置于第一安装板的一侧，第二安装板具有多个安装孔；定位组件包括定位销及定位导套，多组定位组件的多个定位销间隔设置于第一安装板面向第二安装板的一侧且环绕第二安装板的外周设置，多个定位销与多个安装孔一一对应设置，定位导套可分离设置于第二安装板，定位导套用于套设在定位销的外周且与定位销过渡配合，以实现第一安装板及第二安装板的对位，定位销的最大径向尺寸小于或等于定位导套的内径；定位导套的外径小于安装孔的径向尺寸。定位机构具有较高的定位精度且易于安装定位。
