IEDM 2024
美国当地时间12月7日至11日，2024年IEEE 国际电子器件会议（International Electron Devices Meeting，IEDM 2024）在旧金山举行，华南理工大学微电子学院陈荣盛教授课题组在会议上发表了题为“High Performance 3D ITZO DGTFTs and Their Application in Wearable Pulse Sensors”（《高性能3D ITZO双栅薄膜晶体管及其在可穿戴脉搏传感器的应用》）的研究论文。第一作者、微电子学院博士生林德朗在大会现场报告了相关研究成果，通讯作者为陈荣盛教授。该研究工作得到了香港科技大学先进显示与光电子技术国家重点实验室郭海成教授等的指导和支持。这是华南理工大学首次以第一单位在IEDM会议上发表论文。
博士生林德朗在IEDM 2024会议现场
双栅薄膜晶体管（DGTFTs）是一种在传统薄膜晶体管基础上改进的晶体管结构，具有更好的电学性能和更高的开关速度。此外，由于其可控的阈值电压调节特性，在传感器领域也得到了广泛的应用。该论文展示了陈荣盛教授课题组在金属氧化物双栅型薄膜晶体管的最新研究成果，提出了以正辛基三乙氧基硅烷自组装分子层（OTES-SAMs）作为溅射阻挡层的高介电常数顶栅介质层溅射制备技术以及创新性的立体沟道层结构，成功制备了性能达到国际先进水平的3D ITZO DGTFTs。该DGTFTs还表现出优越的顶栅电容耦合效应、稳定性以及机械柔韧性，使其适用于可穿戴健康监测设备。由其构成的可穿戴脉搏传感器可以探测出人体太阳穴、手腕以及脚踝等多处部位的脉搏波形，结合机器学习，可推断出相应的血压波形，在非侵入式人体生理信号探测领域表现出良好的应用潜力。
3D ITZO DGTFTs的结构、电学性能及其传感测试图
陈荣盛教授简介
陈荣盛，华南理工大学微电子学院教授，博士生导师，广东省智能传感器与专用集成电路工程技术研究中心副主任，入选广东省海外引进高层次人才，TCL青年学者，电气与电子工程师协会IEEE高级会员，国际信息显示协会SID北京分会技术委员会委员。主要从事新型薄膜晶体管器件及其集成技术的研究。主持科研项目10余项，以第一作者或通讯作者在IEEE TED、EDL、IEDM等国际著名期刊/会议上发表论文50多篇，以第一发明人授权中国发明专利18件，授权美国发明专利4件。
