智芯微“基于连续域束缚态超表面的超声波传感芯片”专利公布

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天眼查显示,北京智芯微电子科技有限公司“基于连续域束缚态超表面的超声波传感芯片”专利公布,申请公布日为2024年10月11日,申请公布号为CN118758351A。

本发明提供一种基于连续域束缚态超表面的超声波传感芯片,包括:衬底层;第一包覆层,覆盖所述衬底层;连续域束缚态超表面层,覆盖所述第一包覆层,所述连续域束缚态超表面被配置为感应光场;以及第二包覆层,覆盖所述连续域束缚态超表面层,所述第二包覆层被配置为感应和放大超声波信号;其中,所述连续域束缚态超表面层具有朝向所述第二包覆层的超表面,所述超表面形成有微腔结构,所述连续域束缚态超表面层还被配置为通过所述微腔结构,在所述超声波信号的作用下对所述光场进行调制。本发明能够实现高灵敏度和高分辨率的超声波检测,可广泛应用于电力系统中的设备监测和故障检测,以及医疗诊断、工业检测和科学研究等领域。

责编: 赵碧莹
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