2024年9月24日,由上海市科委指导,上海市科技创业中心主办的“2024上海高新技术成果转化百佳表彰会”在大零号湾科创大厦会议中心隆重举行。万业企业旗下上海凯世通半导体股份有限公司的低能大束流离子注入机(KST HC IMP Istellar500)在众多项目中脱颖而出,入选2024年上海市高新技术成果转化项目百佳、自主创新十强。
会上,作为突出企业代表,凯世通总经理陈克禄博士应邀发表《国产高端离子注入机自立自强》主题演讲。
离子注入机是2014年国务院《国家集成电路产业发展推进纲要》明确要求重点发展的三种装备(光刻机、刻蚀机、离子注入机)之一,凯世通立足正向设计、持续创新,实现了国产低能大束流离子注入机系列装备与高能离子注入机产业化,不断收获多家12英寸主流晶圆厂客户复购订单,有力支撑了相关芯片制造企业与国家重点工程安全可持续生产。与此同时,凯世通积极发挥“链主”企业功能,联合上下游企业、科研院所开展新技术、新产品研发,加速推进关键零部件国产化,不断提升离子注入机自主可控水平。
科技是国家强盛之基,科技成果转化是推动科技创新转化为新质生产力的“关键一跃”。上海市高新技术成果转化项目百佳、自主创新十强是上海市科技创业中心基于2023年度全市高新技术成果转化项目动态数据梳理,根据各区科技主管部门推荐,经过指标筛选和专家评议等程序评选出的重量级荣誉,旨在弘扬创新精神,加快培育发展新质生产力,促进科技成果加速转化。
此次荣膺上海市高新技术成果转化项目百佳、自主创新十强是继凯世通入选上海市企业技术中心、浦东新区博士后创新实践基地、国家级专精特新小巨人企业之后,收获的又一重量级荣誉,是对凯世通持续加强技术创新、推动关键技术突破、加快成果转化与应用推广的高度认可与肯定。
未来,凯世通将继续加大研发投入,奋力抢占技术制高点,推动离子注入机领域绽放更多科研之花,结出更丰硕的产业之果,不断助推国内芯片制造产业链、供应链高质量韧性发展。