智芯微“一种主从栅极和分裂场板结构的LDMOS器件结构”专利公布

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天眼查显示,北京智芯微电子科技有限公司“一种主从栅极和分裂场板结构的LDMOS器件结构”专利公布,申请公布日为2024年9月6日,申请公布号为CN118610263A。

本发明公开一种主从栅极和分裂场板结构的LDMOS器件结构。本发明包括衬底区、沟道区、漂移区、主栅极结构、从栅极结构和分裂场板结构。所述从栅极结构位于所述漂移区表面,用于漂移区域的沟道调节;所述场板结构有多个,均位于所述漂移区表面,且在从栅极结构与漏区之间,用于优化漂移区的电场分布,减少局部电场集中。本发明通过在常规栅极旁增加了一个尺寸更小的栅极,并额外添加电压,以期望能够实现更好的LDMOS器件电学性能。本发明通过添加分列式的多个浮动场板,将浮动场板放置在漂移区域的顶部,可以帮助优化漂移区的电场分布,减小电场峰值强度,降低边缘效应,从而提高器件的性能和稳定性。

责编: 赵碧莹
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