浙大吴汉明院士主编的《集成电路制造大生产工艺技术》荣获浙江大学出版社40年重点好书

4月28日，恰逢浙江大学出版社建社40周年，由浙江大学、中国出版协会学术出版工作委员会主办，浙江大学出版社、浙江大学数字出版研究中心承办的“媒介融合下学术出版高质量发展研讨会”在杭举办。

研讨会上，发布了浙江大学出版社40年40种重点好书。本次发布的40种好书，是从出版社已出版的20000余种图书中，根据文化价值、社会影响、市场反响等维度，经过多轮评选，最终选出的最具代表性的图书。我院吴汉明院士主编的《集成电路制造大生产工艺技术》（2023年出版）入选，一同入选的还有国家级重大文化工程“中国历代绘画大系”等一批有影响、受好评的优秀出版物。

《集成电路制造大生产工艺技术》的编写，瞄准产业大生产技术应用，以产教融合理念支持新工科建设，内容涉及集成电路制造工艺、设计制造一体化、装备材料、PDK等众多领域。本书主编吴汉明院士长期工作在我国集成电路芯片产业，主持、参加了包括国家重大专项在内的0.13微米至14纳米七代芯片大生产工艺技术研发，攻克了刻蚀等一系列关键工艺难点。学院共有15位老师参与了本书编写工作，部分兼聘教授参与本书编审工作。