打造半导体工厂智慧物流“毛细血管”

作者： 爱集微 04-09 09:41
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Fully Auto有门道。

晶圆仓与洁净室Stocker之间，高速的OHT系统连接，主要覆盖Inter Bay，是生产物流“大动脉”；

在Stocker与E-Rack再到机台上下料环节，采用AMR，覆盖Intra Bay，是工厂里的物流“毛细血管”。

Inter Bay上主打一个快，Intra Bay中讲究一个细腻。

AMR与OHT互为补充，共同铺开半导体生产的智能化升级通路。

1 集群调度

支持1000+AMR共场作业

多机型协同调度

2 全景覆盖

全治具搬运

强辐射、高洁净、高震动场景适配

3 系统兼容

智慧生产系统协同打通

实现整场智慧物流建设

责编： 爱集微
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