据企查查信息显示，近日国内半导体检测设备供应商常州煜辉半导体设备有限公司（简称：煜辉半导体）已顺利完成近亿元A轮融资。本轮融资由国内投资头部企业——深圳市创新投资集团有限公司（简称：深创投）及红土一号私募股权投资基金共同出资完成。
常州煜辉半导体设备有限公司是一家以技术和市场驱动的半导体企业，其子公司江苏维普光电是国内首家半导体光掩模检测设备企业。
图1 公司洁净车间图
2 公司产品介绍
公司总部位于江苏常州高新区，是国内首家开发并商用的半导体掩模图形缺陷检测设备企业，公司产品包括：IC掩模检测、FPD掩模检测、晶圆检测、晶圆及掩模量测3大领域5大类产品，其中，半导体掩模检测STORM 系列设备，已全面应用于国内Maskshop客户，对标业界头部企业美国K公司、日本L公司部分机型，检测精度、效率上超越对应型号机型，共累计出货近40套，其中量产机型STORM 3000满足130nm制程，交付中芯国际（上海）、华润微、中微掩模、龙图光罩、路维光电等国内头部客户，稳定的性能表现带来老客户的连续复购与新客户的一致认可。产品销售涉及中国大陆及台湾省、欧州等国家地区。
本轮融资将用于下一代掩模检测机台STORM 5000、前道晶圆检测Tornado 3000的研发及生产制造，下一代机型将应用于半导体制造更高制程，满足国内大多数客户业务需求。
