【芯事记】2月半导体设备招投标：设备中标量环比下降61.6%

集微网消息，集微网根据招标平台数据整理统计，2023年2月，上海积塔、华虹半导体、上海华力、新昇半导体、芯未半导体等企业合计招标135台设备，数量较高于1月的113台。其中，光刻设备2台，刻蚀设备1台，薄膜沉积14台，工艺检测10台，离子注入1台，热处理2台，清洗设备1台，涂胶显影1台。

从招标企业来看，上海积塔新增设备招标52台，华虹半导体新增设备招标36台，上海华力新增设备招标1台，积海半导体新增设备招标5台，新昇半导体新增设备招标8台，芯未半导体新增设备招标12台，无锡光子芯片联合研究中心新增设备招标3台。

其中，上海积塔再次进行大规模招标，2月招标设备数量略低于1月的59台。重点采购薄膜沉积、分子泵等设备。

华虹半导体2月招标设备数量略高于1月的27台，多为采购真空泵、排气处理装置等设备。

从中标方面来看，集微网根据招标平台数据整理统计，2023年2月，北方华创、中微公司、盛美上海、应用材料、东京电子、泛林半导体等企业合计中标127台设备，数量低于1月的331台，环比下降61.6%。其中，光刻设备2台，刻蚀设备17台，薄膜沉积19台，工艺检测14台，离子注入2台，CMP 5台，热处理1台，清洗设备3台，涂胶显影3台。

国内设备厂商合计中标61台设备。其中，北方华创共中标13台设备；中微公司共中标1台设备，是为华虹宏力体提供1台硬质掩膜层干法刻蚀设备；盛美上海共中标1台设备，是为新昇半导体提供1台最终清洗机；拓荆科技共中标2台设备，是为天府兴隆湖实验室提供2台化学气相沉积设备；嘉芯迦能共中标4台设备；富岚半导体共中标1台设备；晶盛机电共中标4台设备。

国外设备厂商合计中标66台设备。其中，应用材料共中标5台设备；东京电子共中标1台设备，是为上海积塔提供1台ArF 浸没式匀胶显影机；泛林半导体共中标2台设备；KLA共中标1台设备；ASM共中标4台设备；Nikon共中标1台设备，是为上海积塔提供1台ArFi浸没式扫描光刻机；DISCO共中标2台设备。

其中，北方华创2月中标设备数量略高于1月（9台）。其中标上海积塔特色工艺项目11台设备，包括8英寸多晶硅刻蚀机、6英寸金属等离子刻蚀、8英寸外延沉积设备、高温激活炉管等；中标株洲中车2台设备，分别是1台硅刻蚀设备和1台深硅刻蚀设备。

嘉芯迦能2月中标上海积塔特色工艺项目4台设备，包括1台掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备、2台钛/氮化钛沉积设备和1台铝铜金属溅射设备。

本月重点企业动态

2月20日，中芯国际在互动平台表示，2022年底，中芯京城进入试产阶段，因瓶颈机台的交付延迟，量产时间预计推迟一到两个季度。2月9日晚间，中芯国际公布未经审计的2022第四季度及全年业绩，未经审计的年营收为495.16亿元，同比增长38.97%；未经审计的全年归母净利润为121.33亿元，同比增长13.04%。

2月27日，中微公司公布2022年度业绩快报，2022年实现营业收入47.40亿元，较上年同期增长52.50%，再创历史新高。2022年新签订单金额约63.2亿元，较2021年增加约21.9亿元，同比增加约53.0%，订单销售比达到1.33。至2022年底，累计已有3311台等离子体刻蚀和化学薄膜的反应台，在国内、亚洲和欧洲的106条生产线，全面实现了量产和大量重复性销售。

2月24日，盛美上海发布2022年年度报告称，2022年公司营业收入为28.73亿元，同比增长77.25%；2月25日，盛美上海宣布获得来自欧洲一家全球性半导体制造商的首个12腔单片SAPS兆声波清洗设备订单，预计将于2023年第四季度交付至该客户的欧洲工厂。

2月15日，万业企业旗下嘉芯半导体项目正进行二次结构施工，该项目预计3月底前完成土建工程施工并转入室内装修和设备安装阶段，年底竣工投产。

2月2日，华海清科在接受机构调研时表示，公司针对3D IC领域的减薄抛光一体机已发到客户端进行验证，且验证情况良好，预计该类产品在2023年实现小批量出货。其进一步称，第三代半导体现大部分为6英寸产线，公司的Universal-150系列CMP设备可满足第三代半导体产线需求，Universal-200系列CMP设备主要面向8英寸产线客户，也可兼容6英寸生产线。

2月10日，拓荆科技在接受机构调研时表示，公司IPO募投项目三“ALD设备研发与产业化项目”进展顺利，目前厂房已基本完成建设，已进行ALD产品研发工作；超募项目“半导体先进工艺装备研发与产业化项目”，正在按照实施计划顺利推进，主要用于ALD设备及工艺的研发，并实现以临港为中心客户群所需半导体设备的产业化。（校对/韩秀荣）