半导体板块业务增长，至纯科技2021年营收同比增加49.18%

集微网消息，4月29日，至纯科技发布年度业绩报告称，2021年营业收入20.84亿元，同比增加49.18%；归属于上市公司股东的净利润2.82亿元，同比增加8.12%；基本每股收益0.891元，同比减少12.04%。

至纯科技表示，营收同比增长，主要系公司半导体板块业务增长的收入贡献，包括半导体制程设备业务、工艺支持设备业务及高纯工艺系统服务业务等；净利润同比增长主要系公司收入规模整体增加所致。

2021 年度，至纯科技新增订单总额为 32.30 亿元，同比增长 64.80%，其中半导体设备新增订单11.20 亿元，同比增长 111.32%。

分业务来看，半导体设备业务板块持续在已有用户端得到重复订单，并持续开拓新用户。2021年，公司拿到 13 位用户的重复订单，期间又开拓了 10 位新用户，均为行业内主要的晶圆制造企业。2021 年全年湿法设备的订单达到了 11.20 亿元，同比增长 111.32%。公司于 2015 年开始布局湿法设备研发，于 2018 年开始拿到 1 亿级别的订单，2019 年 2 亿多，2020 年订单超过 5 亿，2021 年超过 11 亿。

据悉，至纯科技湿法设备已经在数个成熟工艺的产线上拿到了整条线的设备订单，有效替代了之前的两家日本厂商；公司还在氮化镓和碳化硅产线上拿到了整条线的湿法设备订单；公司在先进制程的 28 纳米节点获得全部工艺的设备订单；在 14 纳米以下制程也拿到了 4 台湿法设备订单。

2021 年公司的单片湿法设备和槽式湿法设备全年出机超过了 97 台。 同时 12 英寸湿法设备新增订单金额超过 6 亿元，其中单片式湿法设备新增订单金额超过 3.8 亿元。2021 年，公司子公司至微科技成功引入大基金二期、中芯聚源等战略投资者，助力业务加速发展。

至纯科技高纯工艺系统业务板块保持持续增长，其中气体及化学品支持设备业务国产替代进展顺利，已经成为主流集成电路制造用户的认定品牌且出货量陡增。2021 年主要客户订单保持持续增长，核心客户均为行业一线集成电路制造企业如中芯，华虹，长鑫，士兰微等。年度订单数再创新高。

在投资状况方面，至纯科技持续围绕主营业务的发展与战略布局开展对外股权投资，聚焦公司产业链上下游，在泛半导体行业展开布局，认购上海和辉光电股份有限公司的 IPO 战略配售份额 5000 万元。此外，公司紧抓国内集成电路等产业发展机遇，在集成电路装备与材料等领域积极进行布局，投资半导体装备项目 436 万元，并参与相关产业基金投资 6000 万元。（校对/LL）