日前，七星电子自主研发的Saqua系列12吋清洗机，在中芯国际完成52万片生产线流片，创造了国产12吋集成电路清洗设备流片量纪录。
作为七星电子集成电路装备产品体系的重要一员，Saqua系列清洗机产品，是七星电子自主研发、具有完全自主知识产权的新一代高端清洗工艺设备，应用于IC制造中铜互连清洗工艺。设备采用全新的模块化设计理念，通过了65纳米/55纳米/40纳米大生产工艺验证，各类指标优异。
此前，七星电子全资子公司北方微电子推出的Booster A630 plus 单片退火系统，成功进入中芯国际上海先进工艺生产线验证。据悉，这是北方微电子继NMC 612D硅刻蚀机之后，第二台进入14纳米工艺验证阶段的机台。该系统是在28纳米技术基础上，通过设计优化，大幅提高了系统洁净度，提升了机台的可靠性。Booster A630 plus 单片退火系统具备双模加热、升温速率高、温度均匀性好及产能大等特点，工艺指标达到国际先进水平。
长久以来，工艺水平和可靠性是困扰国产集成电路装备走向规模应用的两大难题。此次七星电子Saqua系列清洗机成功实现大规模流片，标志着公司设备在具备了生产工艺能力的基础上，通过了严酷的大生产线验证，在生产效率、稳定性、可靠性等方面实现了与进口设备相媲美的技术水平。随着世界范围内集成电路产业发展的突飞猛进，对14纳米工艺设备提出了更严苛的挑战，北方微电子14纳米工艺设备开发的突破性进展，更能体现出我国集成电路企业正加快先进工艺设备的开发速度，为集成成电路产业健康发展作好装备配套支撑。
