普渡大学自我校正MEMS电传感器提供更灵敏的感测能力

作者：蓝天 2010-08-14

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MEMS Sensor微机电传感器对现在的电子产品而言已经不是新产物，MEMS传感器是把模拟的传感器直接结合电路组件透过半导体制成生产的产物，借此缩小通过传统工艺难以缩小的传感器，举凡智能手机、汽车、游戏机内都可看到这类的产品，不过普渡大学的Jason Vaughn Clark要让MEMS传感器再次革新，他声称已经开发出一套结合Electro micro metrology（EMM）的工艺制程，可让传感器进行自我校正，提供更精确的感测能力，这也是业界首个不需要通过外部装置的自我校正MEMS传感器架构。普渡大学认为这项技术有助于犯罪搜证、环境检测与医疗诊断提供更好的效果。