至纯科技子公司建设，1.8亿元半导体湿法设备制造项目将落地合肥

作者：施旭颖

2021-08-10

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8月10日，合肥经济技术开发区管理委员会网站发布关于对合肥至汇半导体应用技术有限公司半导体湿法设备制造项目（一期）环境影响评价文件拟作出审批意见的公示。

半导体湿法设备制造项目（一期）建设单位为合肥至汇半导体应用技术有限公司，项目位于合肥经济技术开发区，项目总投资18000万元，投产后可年产30台年产批次式半导体湿法清洗设备和10台单片式半导体湿法清洗设备。

企查查显示，合肥至汇半导体应用技术有限公司成立于2019年，注册资本1000万元人民币，法定代表人为蒋渊。上海至纯洁净系统科技股份有限公司为该公司股东，持股比例100%。

上海至纯洁净系统科技股份有限公司成立于2000年，致力于半导体设备、半导体工艺系统以及相关专业服务，2017年初在上交所上市。

2021年7月，至纯科技合肥至微项目在新站高新区举行量产仪式，该项目投资约10亿元，包括晶圆再生和半导体部件再生。至微项目以14纳米晶圆厂的再生晶圆需求为设计基础，是服务于中国半导体高阶市场的首条投产的12英寸晶圆再生产线。项目全面达产后，可形成每年168万片晶圆再生及120万件零部件清洗的能力，满产后年产值至少可超过6亿元。（校对/若冰）