华懋科技旗下徐州博康获国内主流存储芯片厂的半导体光刻胶采购订单

作者：魏健 2022-04-11

来源：爱集微 #光刻胶# #徐州博康#

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近期，华懋科技旗下徐州博康收到某国内主流存储芯片厂商的半导体光刻胶采购订单，此前该产品型号全部依赖于海外进口。

华懋科技官方微信消息显示，该产品系博康HTI560系列光刻胶，是基于对羟基苯乙烯聚合物树脂的化学放大型光刻胶。该产品所用原材料包括单体、树脂及光酸100%由博康自主生产，其在客户端的整个测试认证周期近2年，其放量采购标志着博康半导体光刻胶在国内主流12寸晶圆厂获得了正式认可，既包括产品性能的全面达标，也包含对博康光刻胶大批量供应能力的认可。

目前，博康的i-line/KrF/ArF/ArF immersion等多个系列产品正在国内主流的逻辑芯片与存储芯片厂进行评估验证。尤其是高端的KrF高分辨率产品及ArF immersion产品，已经获得了客户端的良好评价。

此外，博康还有多个ArF immersion/KrF/i-line产品积极开发中，包含immersion NTD光刻胶，KrF高深宽比厚胶等。

（校对/若冰）